AMEC xuất xưởng thiết bị ăn mòn có độ chọn lọc cao đầu tiên trên thế giới cho nhà sản xuất chip Trung Quốc

TREE NEWS thông tin: AMEC thông báo đã xuất xưởng toàn cầu hệ thống ăn mòn pha khí có độ chọn lọc cao Primo Domingo® đầu tiên của mình cho một khách hàng nghiên cứu phát triển và sản xuất mạch tích hợp lớn trong nước. Thiết bị này hướng tới các quy trình linh kiện GAA, 3D NAND và 3D DRAM, lấp đầy khoảng trống trong nước về khả năng tự chủ cho các bước ăn mòn quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn 3D thế hệ tiếp theo.