Nguyên mẫu nguồn sáng EUV của Trung Quốc đạt 90% nội địa hóa, còn 3-5 năm nữa để sản xuất hàng loạt

TREE NEWS thông tin: Một nguyên mẫu nguồn sáng cực tím (EUV) do Trung Quốc tự phát triển, được đánh giá là tiên tiến nhất từng được công bố tại nước này, đã ra mắt tại Hội chợ Công nghiệp Quốc tế Trung Quốc lần thứ 26 ở Thượng Hải. Nhân viên tại gian hàng Landau Suiyan cho biết hệ thống này đạt 90% nội địa hóa, với phần lớn linh kiện cốt lõi được phát triển độc lập và lộ trình kỹ thuật tương đồng với các nhà cung cấp hàng đầu quốc tế, có thể dùng để kiểm thử phơi sáng chip. Việc sản xuất hàng loạt vẫn còn cách 3-5 năm nữa.