중국의 EUV 광원 프로토타입, 국산화율 90% 달성…양산까지 3~5년

TREE NEWS 소식: 중국에서 가장 앞선 공개 사례로 평가되는 국산 극자외선(EUV) 광원 프로토타입이 상하이에서 열린 제26회 중국국제공업박람회에서 처음 공개됐다. Landau Suiyan 부스 관계자는 이 시스템의 국산화율이 90%이며 대부분의 핵심 부품을 독자 개발했고 기술 경로가 국제 선도 업체와 일치한다며 칩 노광 테스트에 사용할 수 있다고 밝혔다. 양산까지는 아직 3~5년이 남아 있다.