TREE NEWS 消息， 第二十六届中国国际工业博览会在国家会展中心（上海）举行，朗道燧岩展出一台极紫外（EUV）光源系统样机，为目前公开展示中进度最靠前的国产EUV光源样机。现场工作人员介绍，该光源系统国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。该样机目前距离量产还需3—5年。
国产EUV光源样机工博会首秀 国产化率达90%
AI 解读
这是国产EUV曝光光源首次以接近整机的形态公开展示，意义在于把“国产化率”这一长期停留在零部件层面的说法推进到了系统集成层面，说明卡点正从单点器件转向工程化与稳定性验证。受影响最大的是国内光刻产业链上游的镜片、光源与真空配套环节，其估值叙事将更依赖实际验证进度而非概念。3—5年才到量产，意味着真正的观察窗口在于该样机能否进入产线做重复性曝光测试，以及国产化率能否在量产条件下维持。
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