TREE NEWS 소식: 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트 그룹(Shanghai Micro Electronics Equipment Group)은 11월 5일부터 10일까지 상하이에서 열린 제9회 중국국제수입박람회(CIIE) 중국관에서 자체 개발한 차세대 프론트엔드 드라이 스캐닝 투영 리소그래피 장비인 SSC800과 SSB800 모델을 전시했다. 이 회사는 국산 프론트엔드 드라이 리소그래피의 결상 성능이 이제 선도적인 국제 제품과 동등한 수준에 도달했으며, 오버레이 정밀도와 생산 효율도 글로벌 기준에 근접하고 있다고 밝혔다.
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