AMEC、世界初の高選択性エッチング装置を中国のチップメーカーに出荷

TREE NEWS 情報： AMECは、初のPrimo Domingo®気相高選択性エッチングシステムを、国内の主要な集積回路の研究開発・製造顧客に世界で初めて出荷したと発表した。この装置はGAA、3D NAND、3D DRAMデバイスのプロセスを対象としており、次世代3D半導体製造における重要なエッチング工程の国産自給における国内の空白を埋めるものである。