ASMLとZeiss、次世代チップ製造装置「Hyper NA」が10年以内に実用化の可能性と発表

TREE NEWS 報道： ASMLとその光学パートナーであるCarl Zeissのエンジニアらは、査読付き論文の中で、ASMLの最先端チップ製造装置の後継機となる「Hyper NA」が約10年後に登場する見込みだと述べた。この装置は、両社の既存技術の多くを再利用しつつ、より微細な回路をパターニングするものになるが、依然として重大な課題が残っている。ASMLは開発作業を開始しているが、この装置の量産化はまだ確約していない。