上海微電子、CIIEで次世代リソグラフィ装置のモデルを展示

TREE NEWS 情報： 上海微電子装備集団（Shanghai Micro Electronics Equipment Group）は、11月5日から10日まで上海で開催された第9回中国国際輸入博覧会（CIIE）の中国パビリオンにおいて、自社開発の次世代フロントエンド乾式走査投影リソグラフィ装置「SSC800」および「SSB800」のモデルを展示した。同社は、国産フロントエンド乾式リソグラフィの結像性能が現在、国際的な主要製品と同等の水準に達しており、重ね合わせ精度と生産効率も世界のベンチマークに迫っていると述べた。