AMEC、Primo Matrixプラズマウェハ切断装置を発表、国内パッケージング顧客へ初号機を出荷

TREE NEWS 情報： Advanced Micro-Fabrication Equipment（AMEC）は、デュアル反応チャンバー型プラズマウェハ切断装置「Primo Matrix」を発表し、世界初の1台を中国の主要な集積回路パッケージング顧客へ出荷した。上海に拠点を置く半導体製造装置メーカーが、製品発表と納入を同時に公表した。顧客名は明らかにされていない。