中国のEUV光源プロトタイプ、国産化率90%を達成、量産まで3〜5年

TREE NEWS 情報： 中国で最も先進的な公開事例とされる国産の極端紫外線（EUV）光源プロトタイプが、上海で開催された第26回中国国際工業博覧会で初披露された。Landau Suiyanのブース担当者によると、同システムは90%が国産化されており、主要なコア部品の大半は独自開発、技術ルートは国際的な有力ベンダーと一致しており、チップ露光テストに使用可能だという。量産にはなお3〜5年かかる見通し。